位移探测器

二象限探测器(bi-cell/dual-element/two-segment photodetectors)是由极小间隔的两个具有公共衬底的PD所组成。当线光斑同时照射到两个象限能够产生不同的光电流信号，通过计算即可精确获得光斑一维坐标。应用：机床测量、精密位移测量(position sensing)、表面轮廓测量等。

四象限探测器(quadrant photodetectors， QPD)是一种光敏面分为四个象限(quadrant)，相邻区域间隔极小且具有公共衬底的PD (photodiodes)或APD (avalanche photodiodes)。规则形状的光斑同时照射到四个象限能够使象限各自产生不同的光电流信号，通过计算即可精确获得光斑二维坐标。应用：光斑对中、精密位移测量(position sensing)、振动检测、角度测量、制导等。

位置灵敏探测器(position sensitive detectors, PSD)利用横向效应测量光斑重心与探测器边缘之间的光电流信号来得到光斑一维或二维的坐标信息。相较于象限探测器(bi-cell/dual-element/two-segment or quadrant photodetectors)有更高的动态范围、量程和线性度，可有效屏蔽光斑形状不规则对测量精度的影响。应用：光斑校准、位移测量(position sensing)、运动分析、三角测距等。

象限探测器模块[bi-cell/dual-element/two-segment or quadrant photodetector (QPD) modules]是基于象限探测器并且内部集成了跨阻抗放大电路(trans-impedance amplifiers, TIA)，使得其象限串扰低、可靠性高，更易于系统集成。应用：光束归零和定位，目标位置采集及对准(position sensing)

位置灵敏探测器模块[position sensitive detectors (PSD) modules]是一种基于非均匀半导体横向光电效应的光电器件，模块包含高精度二维位置灵敏探测器（two dimensional PSD）和低噪声放大器，可以执行精确的距离测量和位置测量(position sensing)。应用：激光雷达系统、自动化生产线、机器人操作以及光学系统对准等。