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真空紫外VUV型专门用于探测真空紫外波段(170-355nm)的光信号。它具有高灵敏度、快速响应、低噪声等优点，适用于真空紫外光谱分析、光刻工艺监测、环境监测等领域。

型号	光敏尺寸	响应波长-峰值	响应度-峰值	暗电流	响应波长-范围	电容	封装	封装类型
chip R80	8.0mm²	280m	0.16A/W	0.2 fA	170 … 355 nm	1200 pF@-1V	Chip	Chip
SG03R20-5	2mm²	280 nm	0.16A/W	0.2 fA	170 … 355 nm	300 pF@-1V	TO-5	TO
SG03R20-5 without window	2mm²	280 nm	0.16A/W	0.2 fA	170 … 355 nm	300 pF@-1V	TO-5	TO
SG03R01-5	0.1mm²	280 nm	0.16A/W	0.2 fA	170 … 355 nm	15 pF@-1V	TO-5	TO
SG03R05-5	0.5mm²	280 nm	0.16A/W	0.2 fA	170 … 355 nm	75 pF@-1V	TO-5	TO
SG03R10-5	1.0mm²	280 nm	0.16A/W	0.2 fA	170 … 355 nm	150 pF@-1V	TO-5	TO
SG03R80-5	8.0mm²	280 nm	0.16A/W	0.2 fA	170 … 355 nm	1200 pF@-1V	TO-5	TO